6823濾能

 一片濾網，吃下先進製程5成市占！濾能如何踢走外商，讓晶圓廠「變心」？

數位時代

2023年4月10日 週一 上午10:51

隨著半導體製程不斷演進，7奈米以下晶圓價格水漲船高，為同時延續摩爾定律又符合成本效益，海內外大廠無不想盡辦法解決高昂的成本難題。其中的解方之一，就在桃園楊梅小廠「濾能」的實驗中。

濾能於2014年成立，提供微污染（AMC, Airborne Molecular Contamination）防治服務，透過濾網的材料研發創新，防止空氣中看不見的氣體分子飄落，避免在無塵室內造成污染導致設備耗材的多次更換，或良率低落的晶圓產生。在每步驟都極為精細的先進製程晶圓片的製造過程中，扮演控制成本的關鍵角色。

2021年6月，濾能掛牌上櫃，當時主力產品「抽取式濾網」已拿下國內先進製程的5成市占，更在2022年首度突破10億元營收大關，在成軍短短的9年內繳出亮眼成績。

究竟，一片看似輕薄且普通的濾網，裡頭藏有什麼玄機？

微污染防治是什麼，為何先進製程一定要做？

創辦人暨董事長黃銘文是中山大學化學碩士，研究所時期即專攻微量儀器分析，研究在空氣中肉眼難辨的氣體分子。畢業後，黃銘文加入台積電分析部門，專門找出空氣中的污染源並加以阻絕，也曾效力於瑞典濾網大廠康法（Camfil），職涯上一路都與微污染防治有關。

自濾能創業初期還窩在小鐵皮裡創業開始，便與黃銘文相識的資誠會計師事務所合夥會計師于智帆形容，黃銘文雖然是白手起家的中小企業老闆，但聊起來相當務實，「也不是那種很悶的工程師。」

問起為何願意離開大企業並投入創業時，黃銘文表示在從業期間，清楚地看到了一條未來道路：「 當製程不斷演進，無塵室對污染防治會更重視，這個市場將來可能會爆發。 」

在黃銘文加入台積電的2000年初期，微污染防治大多著重在曝光機所在的黃光區。曝光機是運用透鏡原理，將電路顯影至晶圓上的重要機台，不過由於光能量非常強，使氣體污染分子的活性也變大，容易沾黏在透鏡（lens）上方，造成曝光效率降低。

由於透鏡一旦吸附過多為污染物導致無法清潔，就必須整組換掉，屆時再換上新的透鏡組加上調機需要約兩至三個月，顯影失敗的晶圓也必須丟棄，影響產能和成本。這也是為何晶圓廠要全力阻擋微污染物的原因。

黃銘文回憶，到了約2006年之後，隨著晶圓製造精細度提升，微污染防護逐步變成全區防治，「後來到後段封裝時候，也必須做微污染防治。」

不過，半導體廠向外商購買濾網行之有年，關鍵技術也都不在國內，這讓黃銘文在創業初期吃盡苦頭。幸好，一通半夜來自晶圓大廠的電話，開啟濾能切入先進製程供應鏈的大門，讓濾能靠著三招翻身，並成功搶下國內知名晶圓廠及美、台系記憶體大廠的訂單。

綠能三招攻破晶圓廠大門，單挑大廠祕技公開

第一招，是抽取式設計的濾網，先破壞再創新。

黃銘文回憶：「2016年某個月黑風高的晚上，晶圓廠突然打給我。」原來，當時值班的工程師發現廠區發生微污染，需要支援。然而當時廠區的濾網是由外商大廠提供，沒有半夜值班人員，就連濾網也是一體成型的模組設計，「那一組大概要25到30公斤，而且一換就會是10到20組。」這對設備工程師來說是不可能單獨完成的任務。

然而，濾能採取的是抽取式設計，單片濾網不到1公斤，更換時只要抽出替換部分即可，就像抽出電腦內顯卡一樣簡單，無需更換整個模組。「晶圓廠當時就看到了我們產品更換容易的好處，而且一個工程師就能扛十片，在高空作業比較安全，傳統的大概一組就軟腳。」黃銘文說。

當中的創新之處在於，「氣密性」是不少濾網開發者相當重視的概念，因此抽取式的設計從根本上來說是種強烈的挑戰，「對設計濾網的人來說，觀念上的變化其實不容易。」國外代工廠甚至一開始就直接他挑明表示：「不可能。」

濾能的作法則是透過材料著手，在符合晶圓廠氣密的標準下，研發出最適合的濾材以達到更好的微污染防治效果，而非以密封為核心。黃銘文分析：「因為我們不是由小做到大的濾網廠，是半路殺進去的廠商，會覺得『 這就簡單啊！』的想法。」

也因為這次的機緣，讓晶圓大廠看見濾能的優點，讓濾能得以大展拳腳。濾能也慢慢站穩腳步，拿下更多來自其他晶圓製造商的訂單。

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第二招，則是濾網的彈性配置。

曾有個台系利基型記憶體廠，因為作業員不斷反應無塵室中有異味，廠長因此找上濾能希望解決問題。黃銘文回憶，當時該公司弄了一個小實驗室來做A/B測試，如同電視廣告測試尿布等吸水力般，讓作業員「盲測」濾能及外商大廠濾網的過濾效果。

黃銘文透露，由於大廠濾網已經密封，去除臭味的濾網是放在最上層，無法移動，「我們把過濾味道的濾網放在最下層，很神奇的是雖然還有人抱怨會臭，但已經從例如本來8個人降成4個，我們就因為這樣進去了。」

當中關鍵在於濾能可抽換式的濾網，能隨時依照客戶的需求做變動，加上濾能還免費協助客戶做微污染量測，成功使客戶「變心」，逐步成為該記憶體廠的主要供應商，於該廠占比達八成。

第三招，則是濾網的回收再利用。

將用過的濾網再生，是黃銘文在職涯中體悟到的想法。「以前客戶都會跟我抱怨，說濾網用完不知道怎麼處理。」由於一體式濾網還有金屬邊框，客戶必先切割才能回收；濾能的抽取式設計由於僅需更換濾網，不用更換外框，能減少廢棄物產生。

此外，濾能也透過再生的方式，重複使用濾材，減少60％以上廢棄物。而不可再利用的濾材，則再製成燃料棒（RDF，refuse derived fuel）用於生質能發電，燃燒後的底渣還可做成環保高壓磚，達成百分百的零廢經濟。

于智帆分析，濾能這項解決方案在當今ESG（環境保護、社會責任與公司治理）的趨勢下，對大型半導體廠的ESG執行有很大的加分作用。這意味著濾能的差異化作法，不僅增添與外國濾網大廠競爭的優勢，位於台灣的地域性，相較也產生較少的碳足跡。

提升自製率！濾能朝月產10萬片邁進，還要進軍國際

于智帆分析，當前濾網的販售是濾能最主要的收入來源，同時也會競標晶圓大廠的濾網更換工程，掌握第一線的濾網使用狀況，也更了解客戶的需求。「濾能在這塊不見得賺錢，它目的是要讓濾能的人在廠區內，才可以知道客戶的使用狀況，以及需要被解決的問題。」

濾能也正在積極提升國內自製率。于智帆透露：「這塊需求現在需求很大，濾能業績看起來還沒爆發成長，是因為產能還有限制。」

目前濾能月產能約為6萬片，為提升產能，已策略投資做口罩過濾層的工廠，培養本土供應商。同時，濾能也於2021年啟動南科建廠計畫，預計將於今年投產，初期規劃月產5萬片，並逐步擴充到10萬片以上的水準。

展望未來，黃銘文表示，近期將隨著客戶出海設點，「會派業務主管過去。」此外，濾能也計劃要與當地企業進行合作，開拓除台灣以外的市場，抓緊這波綠色商機，持續壯大。