廢水回收

3面向打造再生水綠色供應鏈 護國神山神隊友名單曝光

蘋果（Apple）等科技巨擘要求供應鏈針對環保應該有更積極的作為，因而衍生出廢液回收等新綠色商機。（蘋果提供）

分析師指出，蘋果（Apple）等科技大廠積極打造綠色供應鏈以達碳中和，身為晶片代工龍頭的台積電也透過淨零液體排放目標朝綠色製程開發新解方，正衍生製程機能水系統、製程特殊廢液處理、再生水處理等新業態，是未來具潛力的新綠色商機。

「半導體濕製程需要的化學品上百種，其中液體高達9成，像是顯影劑用的四甲基氫氧化銨（TMAH）等有機溶劑，可透過回收技術（蒸餾）與特殊回收設備處理，且在達到一定純度後進行轉售。隨著碳稅正式上路，也增強業者投資回收技術與設備的誘因。」日商瑞環業務總監三宅光也向本刊表示。

「多年來，台積電已養出兆聯、華漢等製程用再生水回收好幫手，這些協力廠對施工、不同化學品所需的管線材質十分熟悉，與台積電關係非常緊密。」山林水總經理吳人傑向本刊提出他的觀察，他並進一步指出，山林水以處理民生廢水回收為主，日前標下高雄楠梓再生水廠BTO案後，預計2028年透過南科管理局轉供給台積電利用。

「不過，我們（山林水）的民生廢水回收後，若要進入晶圓製程使用，還得經過數10道程序；此時，就得借重製程用水系統廠商來處理。」吳人傑一邊描述半導體再生水的利用流程，一邊點出兆聯等製程用再生水回收業者的重要性。

吳人傑認為，台積電海外大擴廠，這類業者（系統廠）因在建廠之初就導入施作，自然容易跟著把服務整廠輸出到海外，成為台積電海外建廠受益者。

業界人士指出，一般工業用水可區分前段的超純水、中段製程的回收水、末段的廢水處理，而半導體從鋁製程、銅製程發展到最先進的鈷製程，在中段製程的回收難度大幅拉高。

除了兆聯等業者，分析師余佩儒也點名，信紘科、友達旗下的友達宇沛，也正從既有廠務衍生新事業卡位再生水處理服務。

據了解，廠務設備起家的信紘科，早從2012年就與台積電展開合作，透過二氧化碳與氨氣等機能水清洗設備的開發，取代過去有危害物質如N-甲基吡咯烷酮（NMP）的清洗方式，並取得台積電認證，今年也隨之一起在日本設置辦事處，滿足客戶綠色製程需求。

廢液百分百回收利用超驚人　朋億練功27年終獲晶圓龍頭青睞

化學品系統建置相當客製，朋億透過瀚宇彩晶引介與日商瑞環合作從硬體建置跨足到廢液回收，打造一條龍服務。

「我們透過特殊再生設備，可以把高單價的廢液轉化成原製程所需原料，協助客戶做到100%回到源頭利用。」談起自家的廢液回收技術，也是創辦人之一的朋億技術總監黃逸雲，以自信的口吻向本刊分享，目前提供半導體廢液回收的業者，多半是蒐集後降級轉售居多，然而，唯有回到源頭使用，才是真正的循環經濟。

1997年就成立的朋億，主力業務是化學品系統與CMP研磨液供應系統等建置，客戶遍及面板與兩岸半導體業者，由於這種系統管線的配置屬於客製化設計，累積的案子越多，施工能力越純熟。

黃逸雲回想，約莫2008年，以剝離液回收系統為主的日商瑞環來台成立子公司，正在尋找在地系統廠一起合作，透過瀚宇彩晶引介，雙方一拍即合，成為公司跨足廢液回收的開端，2009年公司納入無塵室大廠聖暉旗下，透過資源整合進一步擴大客戶與市場。

朋億業務總監鐘杏如也補充，10多年前，科技廠環保意識並不高，但公司瞄準的是「一條龍」的完整服務，也就是從化學品系統的建置到廢液再利用都能一次滿足客戶，儘管至目前為止，廢液回收營收占比不高，卻隨著近幾年ESG趨勢成形，成為公司高附加價值競爭力，與同業形成差異。

「像半導體廠需要大量清洗用的異丙醇（IPA），每年光焚化的費用就要至少5千萬元，透過我們與朋億提供的解決方案，不但可以讓客戶節省大筆採購新液的成本，還能減少碳排。」日商瑞環業務總監三宅光以數據佐證回收效益。

「瑞環的強項是蒸餾，我們則是把蒸餾後的回收品，透過純化、調和提煉到最高純度。」黃逸雲說明兩家公司的分工，接著興奮地透露，今年3月，在於台積電主動邀請下，他已帶領團隊在台積新竹先進封測廠分享這項回收事業的經驗與技術交流。

據了解，台積電先進封測也會配合海外擴廠搭配設置產能，得知朋億回收業務在日月光等國內封測廠已有實績，進而對朋億產生高度興趣。

鍾杏如進一步說明，公司成立至今27年，在化學品系統業務並未真正打入台積電供應鏈，如今因為回收事業引起護國神山注意，顯示當年的提早部署頗有遠見。「台積電推動ESG在業界是領頭羊，只要他們願意認證，導入我們的回收液回到製程使用，相信其他半導體廠就會跟進。」她正面以對地說。

榨乾每滴水再利用　台廠靠淨零回收緊跟台積電攻城掠地

積電在美國沙漠區的亞利桑那州（Arizona）設廠，相當重視水資源永續管理，也帶動環保供應鏈業者一起出海。 （翻攝美國在台協會AIT臉書）

地緣政治緊張讓各國紛紛視半導體產業為重要戰略物資，並爭相發展。本刊調查，在環保意識抬頭下，半導體廢水再生與廢液回收業務，隨著先進製程的演進，複雜度不斷提高，逐漸走向客製化。同時間，由台積電掀起的海外擴廠潮，讓包括朋億、信紘科、兆聯等環保夥伴，搶搭順風車一起出海；此外，像是化工的三福化、廠務設備的帆宣，以及面板廠友達旗下的友達宇沛也不落人後，爭當護國神山ESG推手，分食綠色商機。

隨著半導體先進製程的演進，廢水再生與廢液回收處理複雜度不斷提高，客製化需求為台廠創造出許多機會。（翻攝台積電•愛•行動臉書）

距離台灣1.1萬多公里遠的美國亞利桑那州，被奉為「護國神山」的台積電，從2021年前往當地首府鳳凰城設廠至今，一度因人才不足、工會問題進度卡關，沒想到今年4月中出現戲劇性轉折，美國商務部宣布提供六六億美元補助，一舉拉高台積美國投資金額至650億美元，還將啟動美國3廠興建；此外，台積電的日本熊本廠，也獲日本政府支持，今年2月宣布將興建2廠，海外擴廠正如火如荼展開。

「TSMC Arizona 晶圓廠將以相同全球願景設計和建造，實現9成水回收率，並以達淨零液體排放目標，要讓幾乎每一滴水都能於廠內再被利用。」仔細閱讀台積電獲美補助長達1千多字的新聞稿，文末倒數第2段，慎重宣示水利用目標。

「台積電一直以來，就相當重視水資源風險管理，亞利桑那州是沙漠區，理當會採用這樣的管理策略以解決缺水挑戰。」DIGITIMES分析師余佩儒向本刊分析。

余佩儒更指出，半導體業的生產過程如光學顯影、蝕刻、薄膜沉積等步驟，都需要大量用水與用電，以及多種原材料和化學品，隨著半導體製程越趨複雜，各類化學品材料種類及用量增加，從晶圓清洗至無塵環境的維持，「水資源」利用將扮演越來越關鍵的角色。

除了水資源利用，先進製程產生的化學廢棄物量較以往大增1.5至2倍，在環保法規越趨嚴格下，也成了廠商眼中一門「回收」好生意。

陳碧珠 2024年8月15日 週四 上午5:28